主要特点
1.高精度、高刚性、高稳定性
2.KOHZU专门开发的迷你型6轴调节平台
3.KOHZU纳米级精密微调头(FPP03-13专利产品)
4.部分机构本地化生产满足系统性能同时,也节约成本
5.货期短、可根据客户特殊要求制定系统
手动调节平台(12轴)
|
位移部 |
标准轴 |
驱动 |
行程 |
分辨率 |
用途 |
|
入射阵列位移部 |
X |
精密微分头 |
±6.5mm |
0.5μm |
调芯 |
|
Y |
精密微分头 |
+6.5mm、-3.5mm |
0.5μm |
|
Z |
精密微分头 |
±6.5mm |
0.5μm |
对焦、撤离 |
|
|
微分头 |
±2.5° |
0.01° |
面调整 |
|
θY |
微分头 |
±2.5° |
0.01° |
|
θZ |
精密微分头 |
±3.0° |
27˝ |
|
出射阵列位移部 |
X |
精密微分头 |
±6.5mm |
0.5μm |
调芯 |
|
Y |
精密微分头 |
+6.5mm、-3.5mm |
0.5μm |
|
Z |
精密微分头 |
±6.5mm |
0.5μm |
对焦、撤离 |
|
|
微分头 |
±2.5° |
0.01° |
面调整 |
|
θY |
微分头 |
±2.5° |
0.01° |
|
θZ |
精密微分头 |
±3.0° |
27˝ |
